槽型絕緣件的作用是在軌道連接中把電勢不同的帶電部隔離開來。絕緣管墊尼龍鐵路 21*27*30*35絕緣管墊電感耦合模式是指借助使高頻電流流經天線而產生的感應電場來生成等離子體，電容耦合模式是借助在天線與真空容器的內壁等之間產生的高頻電場來生成等離子體，因此能夠進一步提高等離子體生成的效率，由此能夠進一步提高基板處理的效率。因此軌道槽型絕緣套件具有較高的絕緣阻和耐熱強度，并能避免發生漏電、擊穿等事故。絕緣管墊尼龍鐵路 21*27*30*35絕緣管墊但并不限于此，利用此種偏電壓，例如對等離子體中的正離子入射至基板時的能量進行控制，從而能夠對形成在基板表面的膜的結晶度進行控制，也可如本例般，在基板支架內設置有對基板進行加熱的加熱器，天線在本例中為直線狀的天線，以沿著基板的表面的方式例如。,絕緣管內也可以通過設置支撐部凸出部來加強對導磁金屬件的支撐并減小導磁金屬件與絕緣管的接觸面積，另外，也可以在熱熔膠中直接參雜預定比例的高導磁性材質粉末，例如鐵鎳鐵鎳混合物等，通電后，使得均勻布在熱熔膠中的高導磁性材質粉末帶電。其次耐熱性能要好避免因過熱而老化變質；此外，有良好的導熱性、耐潮防雷性和較高的機械強度以及工藝加工方便等特點。